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薄膜ハンドブック(第2版)

薄膜ハンドブック(第2版)

昨今の薄膜応用技術を網羅した、待望の決定版!

 1983年に発行した「薄膜ハンドブック」の第2版として新たな編集委員会体制のもとで薄膜技術の活用分野の広がりと個々の分野における薄膜技術の深化をふまえ、編纂した。
 読者の活用の観点から、研究や開発に必要となる薄膜に関連する基礎知識と技術を有用なデータとともに、体系的かつ問題解決のために使いやすく整理してまとめたものである。
第Ⅰ編 基礎編
1章 薄膜作製法
 1・1 真空蒸着
  1・1・1 はじめに
  1・1・2 真空と真空蒸着
  1・1・3 分子線エピタキシー法
  1・1・4 イオンや励起種を用いた蒸着
 1・2 スパッタリング
  1・2・1 はじめに
  1・2・2 スパッタリング法による成膜過程
  1・2・3 各種スパッタリング法
 1・3 CVD
  1・3・1 はじめに
  1・3・2 CVDの基本原理と基礎理論
  1・3・3 熱CVD
  1・3・4 プラズマCVD
  1・3・5 各種CVD
 1・4 各種成膜法
  1・4・1 液相成長法
  1・4・2 めっき
  1・4・3 陽極酸化
  1・4・4 LB法
  1・4・5 ゾル・ゲル
  1・4・6 印刷
  1・4・7 スピンコート
  1・4・8 エアロゾルデポジション法
  1・4・9 重合
  1・4・10 表面改質
 1・5 加工
  1・5・1 はじめに
  1・5・2 リソグラフィー
  1・5・3 レジスト
  1・5・4 フォトマスク技術
  1・5・5 ナノインプリントリソグラフィー
  1・5・6 エッチング技術
 1・6 自己組織化とその利用
  1・6・1 自己組織化の原理
  1・6・2 自己組織化材料
  1・6・3 自己組織化の制御
  1・6・4 ナノ構造作製への応用
 1・7 成長・加工モニタリング
  1・7・1 はじめに
  1・7・2 水晶振動子
  1・7・3 フラックスモニタ
  1・7・4 RHEED
  1・7・5 光学測定
  1・7・6 エッチングの終点検出
2章 薄膜形成・成長機構
 2・1 薄膜形成過程
  2・1・1 薄膜形成の素過程
  2・1・2 薄膜の成長様式
 2・2 エピタキシャル成長の機構
  2・2・1 エピタキシーの基礎
  2・2・2 エピタキシャル成長の現象論
  2・2・3 エピタキシャル成長のシミュレーション
  2・2・4 エピタキシャル成長法各論
 2・3 特殊構造薄膜形成
  2・3・1 量子構造・ナノ構造成長
  2・3・2 選択エピタキシャル成長
  2・3・3 組織配向制御
3章 薄膜の評価
 3・1 形状の評価
  3・1・1 膜厚の定義
  3・1・2 探針プローブ
  3・1・3 光プローブ
  3・1・4 電子プローブ
 3・2 結晶構造の評価
  3・2・1 X線,電子線回折
  3・2・2 イオンビーム
  3・2・3 欠陥評価
 3・3 組成の評価
  3・3・1 電子線,X線,イオン
  3・3・2 発光分析
 3・4 結合状態の評価
  3・4・1 内殻準位スペクトルからの評価
  3・4・2 振動スペクトルからの評価
  3・4・3 EXAFS
 3・5 薄膜の物性評価
4章 薄膜の物性
 4・1 電気伝導特性
  4・1・1 伝導体薄膜
  4・1・2 超伝導薄膜
 4・2 半導体特性
  4・2・1 はじめに
  4・2・2 半導体薄膜の性質
  4・2・3 Si,Ge薄膜材料
  4・2・4 化合物半導体薄膜材料
  4・2・5 有機半導体
 4・3 誘電特性
  4・3・1 誘電体薄膜の性質
  4・3・2 誘電体薄膜材料
 4・4 磁気特性
  4・4・1 磁性薄膜
  4・4・2 自発磁化の発生
  4・4・3 磁性体の分類
  4・4・4 技術磁化
  4・4・5 磁気異方性
  4・4・6 磁歪
  4・4・7 磁区構造
  4・4・8 各種薄膜磁性材料
 4・5 光学特性
  4・5・1 薄膜光学
  4・5・2 導波光学
  4・5・3 フォトニック結晶
  4・5・4 光学薄膜材料
  4・5・5 透明導電膜
  4・5・6 非線形光学薄膜
 4・6 化学特性
  4・6・1 はっ水・親水
  4・6・2 触媒
  4・6・3 電気化学特性
  4・6・4 耐候性・耐蝕性
  4・6・5 耐放射線性
 4・7 機械特性
  4・7・1 付着
  4・7・2 内部応力
  4・7・3 硬さ
  4・7・4 摩擦
  4・7・5 磨耗
  4・7・6 潤滑
 4・8 熱特性
  4・8・1 熱伝導
  4・8・2 熱起電力
  4・8・3 耐熱性
付録(Appendix)
 A・1 プラズマの基礎
  A・1・1 気体放電とプラズマ
  A・1・2 プロセッシングプラズマの生成法
  A・1・3 プラズマの基礎量とその計測
 A・2 真空の基礎
  A・2・1 基礎
  A・2・2 真空計測
  A・2・3 排気ポンプと排気
  A・2・4 真空計測
第Ⅱ編 応用編
1章 工業的薄膜作製法
 1・1 はじめに
 1・2 基板準備
  1・2・1 洗浄技術
  1・2・2 エッチング技術
  1・2・3 各種の基板処理
  1・2・4 保管・搬送技術
  1・2・5 基板表面のインライン検査
 1・3 薄膜作製装置
  1・3・1 はじめに
  1・3・2 真空蒸着
  1・3・3 スパッタリング
  1・3・4 CVD
2章 電子デバイス
 2・1 はじめに
 2・2 Si系半導体デバイス
  2・2・1 MOSロジック
  2・2・2 メモリ
  2・2・3 SOI
  2・2・4 TFT
  2・2・5 高周波素子
  2・2・6 パワーFET・IC
 2・3 化合物半導体デバイス
  2・3・1 HEMT
  2・3・2 HBT
  2・3・3 集積回路
  2・3・4 TFT
 2・4 ワイドギャップ半導体デバイス
  2・4・1 SiC
  2・4・2 GaN
  2・4・3 ダイヤモンド
 2・5 有機半導体デバイス
  2・5・1 有機トランジスタ
  2・5・2 有機センサ
3章 光エレクトロニクスデバイス
 3・1 はじめに
 3・2 発光デバイス
  3・2・1 発光ダイオード
  3・2・2 半導体レーザ
 3・3 受光デバイス
  3・3・1 光起電型検出器
  3・3・2 光導電型検出器
  3・3・3 熱型検出器
  3・3・4 光電子増倍管および光電管
 3・4 光ディスク
  3・4・1 ピット・形状変形・溶融混合型記録
  3・4・2 光磁気記録
  3・4・3 相変化光記録
 3・5 テラヘルツ波発生・検出デバイス
  3・5・1 テラヘルツ電磁波技術とその応用
  3・5・2 光伝導アンテナによるテラヘルツ波の発生と検出
  3・5・3 テラヘルツ波発生デバイス
  3・5・4 テラヘルツ波検出デバイス
4章 ディスプレイ
 4・1 はじめに
 4・2 無機EL
  4・2・1 はじめに
  4・2・2 交流薄膜ELの構造
  4・2・3 薄膜EL素子の成膜方法
 4・3 有機EL
  4・3・1 有機ELとは
  4・3・2 高分子LED
  4・3・3 有機ELの特性
  4・3・4 高効率発光にむけて:燐光発光
  4・3・5 新規構造素子
 4・4 LCD
  4・4・1 液晶について
  4・4・2 基板
  4・4・3 カラーフィルタ側の基板
  4・4・4 透明電極
  4・4・5 TFT側の基板
  4・4・6 高分子配向膜
  4・4・7 表面配向処理
  4・4・8 液晶の動作モード
  4・4・9 偏光子
  4・4・10 光学補償フィルム
  4・4・11 バックライト
  4・4・12 液晶ディスプレイの動向
 4・5 PDP
  4・5・1 PDPの構造と原理
  4・5・2 PDPの実際と課題
  4・5・3 PDPにおける薄膜の役割
  4・5・4 PDPの将来像
 4・6 FED
  4・6・1 FEDの原理と構造
  4・6・2 FEDの実際
 4・7 FPD用構成部材
  4・7・1 基材
  4・7・2 偏光フィルムなど
 4・8 蛍光体
  4・8・1 蛍光体とは
  4・8・2 蛍光体の構成
  4・8・3 蛍光体の製法と要求される特性
  4・8・4 蛍光ランプFL用,液晶バックライト冷陰極管蛍光ランプCCFL用蛍光体
  4・8・5 プラズマディスプレイ用蛍光体
  4・8・6 CRT(Cathod-Ray Tube・冷陰極管)用
  4・8・7 FED用,VFD用蛍光体
  4・8・8 LED用蛍光体
  4・8・9 X線用蛍光体
  4・8・10 無機EL用蛍光体
5章 表示・撮像デバイス
 5・1 はじめに
 5・2 表示・入出力インターフェース
  5・2・1 電子ペーパー
  5・2・2 電子写真・レーザプリンタ
  5・2・3 タッチパネル・タッチセンサー
 5・3 撮像デバイス
  5・3・1 固体撮像デバイス
  5・3・2 高感度撮像デバイス
  5・3・3 有機撮像デバイス
6章 磁気デバイス
 6・1 はじめに
 6・2 磁気ヘッド
  6・2・1 磁気記録の原理
  6・2・2 インダクティブヘッド
  6・2・3 MRヘッド
  6・2・4 スピンバルブ型ヘッド
  6・2・5 記録ヘッド
 6・3 磁気記録媒体
  6・3・1 面内記録媒体
  6・3・2 垂直記録媒体
  6・3・3 アドバンストメディア
 6・4 光磁気
  6・4・1 光磁気記録の原理
  6・4・2 光磁気記録ヘツド・媒体
 6・5 磁気テープ媒体
  6・5・1 磁気テープ媒体の変遷
  6・5・2 塗布型テープ媒体
  6・5・3 蒸着テープ
 6・6 磁気メモリー
  6・6・1 磁壁型メモリー
  6・6・2 MRAM
  6・6・3 スピンダイナミクス
  6・6・4 磁壁駆動
7章 センサデバイス
 7・1 はじめに
 7・2 力学センサ
  7・2・1 概論
  7・2・2 圧力センサ
  7・2・3 加速度センサ
  7・2・4 角速度センサ
  7・2・5 トルクセンサ
 7・3 ガス・においセンサ
  7・3・1 ガス・においセンサの作動原理
  7・3・1 薄膜型ガス・においセンサの例
 7・4 赤外線センサ
 7・5 磁気センサ
  7・5・1 薄膜磁気センサ
  7・5・2 Hall効果センサ
  7・5・3 MR/GMR/TMR効果センサ
  7・5・4 フラックスゲートセンサ
  7・5・5 MI効果センサ
  7・5・6 SQUIDセンサ
 7・6 味センサ
  7・6・1 味センサの構成
  7・6・2 基本味特性
  7・6・3 マイクロ化味センサ
8章 エネルギーデバイス
 8・1 はじめに
 8・2 太陽電池
  8・2・1 薄膜Si太陽電池
  8・2・2 化合物半導体薄膜太陽電池
  8・2・3 色素増感太陽電池
  8・2・4 有機薄膜太陽電池
 8・3 燃料電池
  8・3・1 PEFCとDMFC
  8・3・2 多角バレルスパッタリング法を用いた電極触媒の調製
  8・3・3 静電スプレー法を用いた電極触媒の塗工
  8・3・4 金属・カーボン界面制御ハイブリッドセパレータ
 8・4 2次電池
  8・4・1 2次電池における薄膜技術
  8・4・2 リチウムイオン2次電池
  8・4・3 有機ラジカル2次電池
 8・5 熱電変換デバイス
  8・5・1 金属・半導体熱電素子
  8・5・2 酸化物系熱電素子
 8・6 エネルギー貯蔵デバイス
  8・6・1 電気二重層キャパシタとは
  8・6・2 キャパシタの新たな開発
9章 電子回路実装技術
 9・1 はじめに
 9・2 実装材料・プロセス技術
  9・2・1 有機材料基板技術
  9・2・2 無機材料基板技術
 9・3 パッケージ材料用プロセス
  9・3・1 金属薄膜形成技術
  9・3・2 半田ペースト材料
 9・4 電子回路部品
  9・4・1 薄膜抵抗
  9・4・2 薄膜キャパシタ
  9・4・3 フィルタ
  9・4・4 アンテナ
 9・5 実装技術のロードマップ
  9・5・1 電子機器の実装技術によるカテゴリ分類分け
  9・5・2 携帯電話の動向と実装技術要求
  9・5・3 携帯電話用半導体パッケージの動向
  9・5・4 携帯電話用チップ部品サイズ動向
  9・5・5 携帯電話用PWB動向
  9・5・6 実装設備の動向
  9・5・7 燃料電池技術
10章 光学デバイス
 10・1 光学コーティング
  10・1・1 反射防止膜
  10・1・2 波長選択フィルタ
 10・2 回折光学素子
  10・2・1 回折格子の回折角度と効率
  10・2・2 回折レンズ
  10・2・3 非周期の回折素子
  10・2・4 サブ波長周期の光学素子
 10・3 マイクロレンズ
  10・3・1 各種マイクロ非球面研削法
  10・3・2 超音波援用研磨法によるマイクロ非球面研磨
 10・4 クロミック材料薄膜
  10・4・1 エレクトロクロミック
  10・4・2 フォトクロミック
  10・4・3 サーモクロミック
  10・4・4 ガソクロミック
 10・5 通信用光回路部品
  10・5・1 変調器
  10・5・2 波長多重合分波器
  10・5・3 光分岐結合器
11章 メカトロニクス部品
 11・1 はじめに
 11・2 マイクロメカニカルセンサー
  11・2・1 圧力センサー
  11・2・2 加速度センサー
  11・2・3 ジャイロ
 11・3 マイクロ構造体
  11・3・1 マイクロ計測装置
  11・3・2 マイクロ電子源
  11・3・3 医療ツール
  11・3・4 実装
 11・4 マイクロアクチュエータ
  11・4・1 静電アクチュエータ
  11・4・2 熱型アクチュエータ
  11・4・3 圧電アクチュエータ
  11・4・4 電磁アクチュエータ
  11・4・5 電気浸透流
 11・5 集積化MEMS
  11・5・1 マイクロミラーデバイス
  11・5・2 熱型赤外線イメージャ
  11・5・3 集積化容量型センサ
  11・5・4 RF MEMS
12章 表面機能化
 12・1 はじめに
 12・2 機械的機能
  12・2・1 表面硬化
  12・2・2 耐摩耗・潤滑膜
 12・3 化学的機能
  12・3・1 親水,撥水
  12・3・2 触媒
  12・3・3 気体分子選択
 12・4 各種機能
  12・4・1 形態制御
  12・4・2 耐熱性
  12・4・3 耐食性
  12・4・4 装飾
  12・4・5 耐放射線性
13章 バイオ機能デバイス
 13・1 はじめに
 13・2 バイオエレクトロニクス(自己組織化)
  13・2・1 バイオとナノテクノロジー
  13・2・2 デバイス応用のために設計した大型タンパク質構造体
  13・2・3 タンパク質フェリチンの基板上への配置
  13・2・4 2次元配列の応用例
 13・3 バイオミメティクス
  13・2・1 超撥水膜?植物の葉の構造から?
  13・2・2 超撥水膜を用いた細胞の立体培養テンプレート
  13・2・3 自己組織化単分子膜を用いた糖鎖による認識機能表面
 13・4 バイオセンサーシステム
  13・4・1 バイオセンサー
  13・4・2 バイオチップ
  13・4・3 ヘルスケアチップ
 13・5 医療用ナノバイオ
  13・5・1 ナノテクと創薬・医学・医療
  13・5・2 ナノメデイシンと生体分子情報システム疾患
  13・5・3 創薬の標的としての膜タンパク
  13・5・4 イオンチャンネルバイオセンサー
  13・5・5 プレーナー型イオンチャンネルバイオセンサー
 13・6 生体適合性・医療用薄膜
  13・6・1 再生医療膜
  13・6・2 アパタイト
14章 超伝導デバイス
 14・1 はじめに
  14・1・1 超伝導材料
  14・1・2 超伝導の基本特性とデバイス応用
 14・2 受動デバイス応用
  14・2・1 超伝導受動デバイスの動作原理
  14・2・2 超伝導フィルタ
  14・2・3 その他の超伝導受動デバイス
 14・3 ジョセフソン素子
  14・3・1 デジタル応用
  14・3・2 アナログ応用
  14・3・3 検出器応用
 14・4 SQUID応用
  14・4・1 医学・バイオ応用
  14・4・2 材料分析・評価応用
  14・4・3 電子計測応用
  14・4・4 磁気探査への応用
 14・5 電力応用
  14・5・1 薄膜超伝導線材開発
  14・5・2 電力ケーブル
  14・5・3 コイル・マグネット