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マイクロプラズマ ―基礎と応用―

マイクロプラズマ ―基礎と応用―

内容紹介

最先端のプラズマ技術とその応用がわかる

 マイクロプラズマは、必要な場所に必要な性質のプラズマを生成させようというもので、材料プロセスや化学分析・センサ、プラズマディスプレイ、環境やバイオ・医療など、幅広く応用が期待されている。
 本書は、学生や研究者・技術者の教科書となるよう、マイクロプラズマの科学と技術を、基礎から応用まで体系的に解説。

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