1部　光マイクロマシン
1章　光スイッチ,ミラーアレイ,減衰器
GLV,MARSスイッチ,DMD応用スイッチなどオンオフMEMSスイッチ／RIEのみで作成したスイッチ／ファイバ,導波路駆動スイッチ／3Dおよびマトリックスミラーアレイスイッチ／レンズ駆動スイッチ／Siステージスイッチ／マッハ・ツェンダー干渉応用スイッチ／バブル移動スイッチ／一軸回転ミラー／エバネッセント結合スイッチ／可変光減衰器／その他のMEMSスイッチ／自己保持力と消費電力
2章　ディスプレイ,スキャナ
DMD／GLV応用ディスプレイ／TMA／ミラースキャナ
3章　スペクトロメータ,波長可変光学素子
エタロン応用マイクロ分光装置／フーリエ変換分光応用マイクロ分光装置／回折格子応用マイクロ分光装置／波長可変レーザ,フォトダイオード
4章　アクチュエータ,可動構造体
平行平板電極間静電気力,くし型電極アクチュエータ／EDLAエンジン／スプリング,梁の共振周波数,ばね定数,共振型ミラー／光アクチュエータ／液体移動／その他のアクチュエータ／可動構造,自己構築アクチュエータ
5章　センシングとセンサ
微小変位の計測／ドップラー,血流量計測／加速度センサ／ボロメータ／生体計測／生物のセンサ／光励起振動子／光ファイバセンサ／微小信号検出／信号処理／光学膜厚,距離計測／その他の計測
6章　顕微鏡
光学顕微鏡／走査型プローブ顕微鏡
7章　記憶装置
光ピックアップの小型化／光プローブ以外の大容量記録／機構部の位置決め制御／機構部のマイクロマシン化／スーパレンズ／光導波路型ホログラフィ
8章　光マイクロマシンの設計とシミュレーション
クロスコネクトスイッチ／光学解析例／GLVの例／ミラー制御
2部　光マイクロマシン光学
1章　光の反射・屈折
光の数学的取り扱いと基本的事項／偏光／反射と屈折／散乱／損失
2章　干渉
2光束干渉／ファブリ－・ペロー干渉計／屈折率変化による波長可変デバイス／外部共振型半導体レーザ／金属膜での反射光と透過光／マッハ・ツェンダー干渉計／マイケルソン干渉計／広域波長光源を用いた干渉法
3章　回折
回折現象と回折格子の働き／様々な回折格子・回折の数学的取り扱いと回折光制御,回折効率
4章　フリースペース光学
ガウシアンビーム光学／非回折ビーム／MEMSによる波面制御
5章　光放射圧
光トラッピングの原理／レーザマニピュレーション／レーザ冷却
6章　近接場光学
全反射とエバネッセント波／近接場光学の応用／表面プラズモン
3部　材料,ファブリケーションとパッケージング
1章　光学素子
光素子／ファイバ,光導波路／マイクロレンズ／相互作用／下地基板／Si結晶基板および転位／反り／結晶ガラス
2章　ファブリケーション
全般的なプロセス／フォトリソグラフィ／膜堆積技術／導波路構造の作製／エッチング／3次元加工／その他の加工法
3章　表面理工学
表面電荷の影響／スティッキング／MEMSにおける吸着力／ファンデルワールス力／はく離
4章　パッケージング
光コネクタ／表面実装／ボンディング／スルーホール電極／MEMSデバイス封止
付　録
光マイクロマシン／製造プロセス