内容紹介
真空技術の最新技術と関連データを網羅した集大成版!
「真空ハンドブック」は平成4年11月30日に初版が発行され、その後長らく読者諸氏より好評を博してきた。
しかし、この間の技術的進展は大きく、また、経済・産業上の環境も大幅に変化して来たことを受け、このたび今日的観点で初版の内容・収録データの見直しを行い、「新版 真空ハンドブック」として発刊するもの。
このような方におすすめ
真空技術関連の各種応用技術に関わる実務技術者
真空技術関連分野の技術者・研究者・学生
目次
主要目次
第1章 真空の基礎
第2章 真空用部品
第3章 真空用構成材料
第4章 熱
第5章 低 温
第6章 プラズマ・イオンビーム
第7章 表面分析
第8章 薄膜・表面加工
第9章 化学・薬品・食品工業の真空の応用