内容紹介
プラズマの応用に必要な放電・プラズマの基礎を必要充分に解説
電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画の一巻で、電気・電子系の専門課目である放電プラズマ工学の教科書。
プラズマがどのように応用されているかを知るとともに、プラズマの基礎を理解し、それぞれの応用の中で利用されるプラズマの性質を効果的に発生させる方法を学ぶことを目的としている。章末の演習問題など充実し、教科書として利用しやすい構成。
このような方におすすめ
電気・電子系、および応用物理、化学系の大学学部学生・院生。
プラズマを利用する企業の技術者・研究者
目次
主要目次
1章 プラズマとは
2章 プラズマの発生形態と回路技術
3章 気体および荷電粒子の運動
4章 プラズマの集団的性質とプラズマ計測
5章 環境改善へのプラズマの応用
6章 材料プロセスへのプラズマ応用
7章 プラズマの光源への応用
8章 熱プラズマ加工技術
詳細目次
1章 プラズマとは
1・1 プラズマの発生と維持
1・2 プラズマの発生と性質
2章 プラズマの発生形態と回路技術
2・1 放電の形態
2・2 プラズマの生成
2・3 電源・回路技術
3章 気体および荷電粒子の運動
3・1 熱平衡と非熱平衡
3・2 粒子の分布
3・3 電離と励起
3・4 密度と温度
3・5 電子放出
3・6 プラズマの発生
3・7 電界中の運動
3・8 一様定常磁界中の運動
3・9 一様定常磁界と電界中の運動
3・10 水素原子の模型
4章 プラズマの集団的性質とプラズマ計測
4・1 プラズマの集団現象
4・2 イオンシースの形成
4・3 プラズマの計測
5章 環境改善へのプラズマの応用
5・1 環境問題とプラズマ
5・2 空気をきれいに
5・3 水をきれいに
5・4 資源を大切に
6章 材料プロセスへのプラズマ応用
6・1 集積回路について
6・2 微細構造の作製プロセス
6・3 プラズマ装置とプラズマの役割
6・4 プラズマに接した固体表面で何が起こるか
6・5 集積回路製造用プラズマ材料プロセスの具体例
6・6 まとめ
7章 プラズマの光源への応用
7・1 プラズマによる発光
7・2 照明用光源
7・3 紫外線の応用
7・4 真空紫外の発生とその応用
8章 熱プラズマ加工技術
8・1 熱プラズマ加工技術について
8・2 熱プラズマとは
8・3 熱プラズマ成膜技術
8・4 熱プラズマ加工技術
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