（株）東科精機

半導体製造プロセス中に使用される特殊ガスの漏洩検知用として開発された．本体・検知部とも安全性に優れており，各種毒性ガスに対応する．
〈特長〉 ①検知部は感度が非常によい．
　　　 ②共存ガスの影響を抑え，対象ガスを検知する．
　　　 ③検知素子に特殊形状電極を使用，従来になく安定している．
　　　 ④測定対象ガス：CO，H₂S，HCl，Cl₂をはじめ各種ドーピングガス等．
　　　 ⑤電源：AC100Vほか．