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（株）日立ハイテク
0.1µm標準粒子を検出できる ウェーハ欠陥検査装置
［特長］①散乱強度シミュレーション技術の採用で最適化を図り，鏡面ウェーハ上の0.1µm標準粒子検出を実現，②200 mmウェーハ上の欠陥検査で40枚/時間以上の処理性能を誇る，など．
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