新版 真空技術実務読本

書籍詳細

定価

3,190円（本体2,900円＋税）

頁

210頁

発売日

1994/05/19

ISBN

978-4-274-08651-9

判型

A5

発行元

オーム社

書籍カテゴリ

1. 機械・ロボット
2. 流体工学
3. 真空

目次

主要目次

基礎の考え方／真空ポンプの原理と実際／装置の排気／真空用の部品と材料／真空装置のもれともれ探し／真空計の原理と取扱い方／真空下の圧力測定法／残留ガスの分析／超高真空の技術／真空用語と換算表

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