EE Text センサ・マイクロマシン工学

書籍詳細

定価

3,520円（本体3,200円＋税）

頁

222頁

発売日

2005/10/08

ISBN

978-4-274-20134-9

判型

B5

発行元

オーム社

書籍カテゴリ

1. 電気電子・応用物理
2. 計測・制御
3. センサ

関連リンク

• 『EE Text』シリーズ

目次

主要目次

1章　 本書の構成と使い方
2章　 センサ・マイクロマシンの概要
3章　 微細構造製作プロセス技術
4章　 物理センサ
5章　 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章　化学センサとマイクロ化学システム

ダウンロード

ダウンロードデータはございません。

正誤表

正誤表はございません。