内容紹介
センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書!
【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】
「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。
本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。
このような方におすすめ
(1)大学学部3、4年
(2)大学院修士過程
目次
主要目次
1章 本書の構成と使い方
2章 センサ・マイクロマシンの概要
3章 微細構造製作プロセス技術
4章 物理センサ
5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章 化学センサとマイクロ化学システム