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EE Text センサ・マイクロマシン工学

EE Text センサ・マイクロマシン工学

  • 著者藤田 博之 編著
  • 定価3,520円 (本体3,200円+税)
  • 判型B5
  • 222頁
  • ISBN978-4-274-20134-9
  • 発売日2005/10/08
  • 発行元オーム社
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内容紹介

センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書!

【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】
 「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。
 本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。

目次

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