大気圧プラズマ —基礎と応用—

詳細目次

第1章　序　論
第2章　基　礎
　2・1　はじめに
　2・2　プラズマ生成の基礎
　2・3　低圧低温プラズマ
　2・3・1　低圧低温プラズマの生成法
　2・3・2　低圧低温プラズマの生成法特徴
　2・4　大気圧熱プラズマ
　2・5　大気圧低温プラズマ
第3章　生成法
　3・1　はじめに
　3・2　有電極放電
　3・3　誘電体バリア放電
　3・4　高周波放電
第4章　診断法
　4・1　はじめに
　4・2　プラズマ装置自身の計測
　4・3　電子系計測
　　4・3・1　電子密度
　　　(1) シュタルク広がりによる電子密度計測
　　　(2) ミリ波,マイクロ波干渉計
　　　(3) 表面波プローブ
　　4・3・2　レーザートムソン散乱による電子密度,電子エネルギー分布計測
　　4・3・3　電子温度
　　4・3・4　電界(空間電界,表面電界)
　4・4　ガス温度計測
　　4・4・1　発光分光
　　4・4・2　ラマン散乱
　　4・4・3　吸収分光法
　　4・4・4　LIF
　4・5　粒子系計測(ラジカル,準安定粒子,ガス密度)
　　4・5・1　発光分光
　4・5・2　吸収分光法:VUV,UV,近赤外,赤外
　4・5・3　LIF,イメージング分光
　4・5・4　大気圧質量分析法
　4・5・5　大質量数粒子の計測
　4・5・6　紫外線(高エネルギー光子)計測
　4・6　プラズマ発生電極の温度のその場計測
第5章　モデリングとシミュレーション
　5・1　はじめに
　5・2　大気圧プラズマのモデリング手法
　5・3　不均一現象のシミュレーション
　5・4　均一現象のシミュレーション
　5・5　流動および伝熱現象のシミュレーション
第6章　応　用
　6・1　はじめに
　6・2　分光分析
　6・3　プラズマ電気分解(プラズマエレクトロリシス)
　6・4　光　源
　6・4・1　エキシマランプ
　6・4・2　EUV光源
　6・5　ガス発生
　6・6　環境応用
　　6・6・1　排ガスなどの処理技術
　　6・6・2　プラズマによる水処理
　6・7　材料プロセシングへの応用
　　6・7・1　表面改質
　　6・7・2　表面洗浄
　　6・7・3　CVD
　　　(1) 無機系CVD
　　　(2) シリコン系CVD
　　　(3) CVD法によるDLC成膜
　　　(4) CVD・ロールコーター
　　　(5) マイクロ/ナノCVD
　　6・7・4　エッチング
　　6・7・5　マイクロ/ナノ加工
　　6・7・6　CNT,ナノ微粒子
　6・8　バイオ応用
　　6・8・1　プラズマ医療
　　6・8・2　遺伝子導入テクノロジー
　6・8・3　滅　菌