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書籍詳細
- 定価
- 13,200円（本体12,000円＋税）
- 頁
- 376頁
- 発売日
- 2024/03/21
- ISBN
- 978-4-274-23177-3
- 判型
- B5
- 発行元
- オーム社
- 書籍カテゴリ
目次
主要目次
第１章 真空の基礎
第２章 真空用部品
第３章 真空用構成材料
第４章 熱
第５章 低 温
第６章 プラズマ・イオンビーム
第７章 表面分析
第８章 薄膜・表面加工
第９章 化学・薬品・食品工業の真空の応用
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